ZDMV01薄膜真空计
ZDMV01 是薄膜真空计中的一种, 它是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计。该真空计配接我公司自己生产的RBM240/350系列或者INFICON CDG025D薄膜变送器，RBM240/350系列变送器采用原装进口的优质陶瓷电容压力传感器作为压力敏感元件，具有各种标准或非标的管体封装结构。变送器内部的电容膜片由高纯陶瓷制成，具有耐腐蚀，抗冲击，不老化，稳定可靠等特点。
ZDMV01真空计具有测量准确度高,重复性好,测量稳定可靠,抗干扰能力强，不受测量气体成分影响等优点,特别适合于低真空的测量。
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描述
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优点
- 采用数字滤波和光电隔离技术,具有较高的测量精度和抗干扰能力。
- 两组控制信号输出,并有指示灯指示(可拓展为多路控制)。
- 可拓展功能: 通讯、控制输出、模拟输出。
- 采用单片机系统进行非线性补偿和误差修正,并对被测压强进行全程数字显示,自动换挡,具有多种控制功能输出。
- 前面板上对应有“满度”和“零点”的按键设置，保证了仪器和配套电阻规使用的准确度和调节方便。
- 前面板上对应有单位切换按键，请在测量状态时，按“单位”可以切换显示单位。
应用
- 半导体制造
- 显示制造
- 工业制造
订货号
技术参数
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产品型号 |
ZDMV01 |
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测量范围 |
根据所配变送器决定 （1000Torr、100Torr、10Torr、1Torr ） |
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测量精度 |
0.5% F.S. |
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满度漂移 |
≥ 10Torr（F.S.）0.005% F.S./ ℃ 1Torr（F.S.）0.015% F.S./ ℃ |
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零点漂移 |
≥ 10Torr（F.S.）0.01% F.S./ ℃ 1Torr（F.S.）0.03% F.S./ ℃ |
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配接变送器 |
RBM/CDG系列 |
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输入电源/功耗 |
AC/50Hz/220V±10% 10W |
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仪器净重 |
< 1Kg |
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使用环境 |
温度:-10至50℃ 湿度:< 90% |
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模拟输出（用户选配） |
0－5V/4-20mA(用户选用) |
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通讯接口（用户选配） |
RS232/RS485 |
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控制方式 |
两路点控或区域控制(可拓展) |
