RBF-901 复合变送器
专为负载锁定环境设计的RBF-901负载锁定传感器（LLT）结合了差压压阻和微皮拉尼真空传感器技术。与传统热导率计相比，组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。
优点
- 从1.33×10-3 Pa到1.33×105 Pa的绝对压力测量
- 两种传感器功能结合在一个传感器中，适用于宽测量范围
- 模拟、RS232、RS485版本
- 快速、准确和可重复的压力测量减少了工艺循环时间
- 三个可选设置点，具有快速响应时间，可实现可靠的过程控制
- 设计紧凑
应用
- 可用于半导体、分析和涂层行业的许多不同的真空应用
订货信息
技术参数
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关键规格 |
技术参数 |
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测量范围（氮气和空气） |
1.33×10-2 Pa~2×105 Pa |
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1×10-5 Torr ~ 1500 Torr |
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精度 |
绝压: 6.67×10-2Pa~ 1.33×10-1Pa ±10% 1.33×10-1Pa~133.32Pa ±5% 133.32 Pa~ 1.33×103Pa ±10% 1.33×103 Pa~1.33×104Pa ±5% 1.33×104Pa ~ 2×105 Pa ±1% 差压: -1.33×103 Pa ~+1.33×103Pa ±5%±67Pa -1.33×104 Pa ~ -1.33×103Pa ±0.8% -1×105 Pa ~ -1.33×104 Pa ±1% +1.33×103 Pa ~ +1.33×104 Pa ±5%
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绝压: 5×10-4 Torr~ 1×10-3 Torr ±10% 1×10-3 Torr~1 Torr ±5% 10 Torr~ 100 Torr ±5% 100 Torr ~ 1500 Torr ±1% 差压: -10 Torr ~ +10 Torr ±5% ±0.5Torr -100 Torr ~ -10 Torr ±0.8% -760 Torr ~ -100Torr ±1% +10 Torr ~ +100Torr ±5%
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重复性 |
差压： -1×105Pa ~ +1.33×103 Pa ±1% 绝压：1.33×10-2 Pa ~ 133.32Pa ±2% 133.32Pa~1.33×105 Pa ±1% |
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差压： -760 Torr ~ +10 Torr ±1% 绝压：1×10-4 Torr ~ 1 Torr ±2% 1Torr ~1000Torr ±1% |
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输入电压 |
9-30VDC |
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功率 |
<1.2Watt |
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模拟输出 |
1-9VDC |
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模拟输出1分辨率 |
16bit |
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模拟输出2分辨率 |
16bit |
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模拟输出阻抗 |
100Ω |
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模拟输出更新速率 |
16Hz |
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设定继电器范围 |
绝压：1.33×10-2 Pa ~ 1.33×105Pa 差压：-1×105Pa ~ +1.33×104 Pa |
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绝压：1×10-4 Torr ~ 1000 Torr 差压：-760Torr ~ +100 Torr |
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继电器触点额定值 |
1A/30VDC/VAC |
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继电器触点电阻 |
100mΩ（max） |
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继电器触点耐久性（30VDC/1A负载） |
100000（min） |
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继电器触点耐久性（30VDC/0.2A负载） |
2000000（min） |
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继电器响应时间 |
<100 ms |
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暴露在真空中的材料 |
304不锈钢，硅，二氧化硅，氮化硅，金，氟胶。 |
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外壳材料： |
304不锈钢 |
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法兰材料 |
304不锈钢 |
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工作温度 |
0 to 40℃ （32 to 104 ℉） |
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烘烤温度（电源关闭） |
85℃（185℉） |
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湿度 |
0-95% 不凝结 |
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入口保护等级 |
IP40 |
