测量范围

3.0 x 10 -10 到5.0 x 10 -3Torr（空气, 氮气）

重复性

±5%

真空滞回状态

150 mV

输入电源

14 至30 VDC, 最大 150 mA

内部工作电压 

高压最大3KV，短路电流限制在100μA

输出电压

0.5~7.7VDC，对数线性输出，30Ω最大

输出负载

标称100KΩ，最小10KΩ

真空连接

KF25、KF40

电气连接

9 针“D”型端子

工作温度

0℃to 50℃(32°to 122°F)环境，室内使用，普通防潮

工作湿度

0到90%

烘烤温度

CF 法兰单元最大 400°C(752°F);移除电子设备、电缆和磁铁

使用海拔                    

最大2000 米(6561 英尺)

安装方向

任何方向。但是，要避免将传感器直接安装在腔室下方，以防止溅射材料或其他碎片落入传感器中。

外壳材料                                           

铝合金

暴露在真空中的材料                            

SS304, SS302，铝，玻璃，Inconel®X-750，氧化铝陶瓷

重量                                         

1.2KG

外形尺寸

123*76.5*108.5mm