RBL-503C冷阴极变送器
RBL-503C倒置磁控管冷阴极传感器专为需要在6.67×10-1Pa到4.00×10-8 Pa范围内的压力测量的应用而设计。它的快速反应和广泛的测量范围为设备设计者提供了最大的灵活性。该传感器可作为控制系统的一部分自动运行，适用于多种角色，包括系统监控和触发警报。
优点
- 没有热阴极灯丝烧坏风险，对涌入的空气免疫，对振动损伤相对不敏感
- 在极高真空测量时没有X射线导致的本底限制
- 不需要调整发射电流或灯丝电压
- 不需要加热或除气，对系统的影响很小
- 传感器管体几乎可以无限期地清洗和重复使用
- 只有一个电流回路，控制电路简单，与有三个电流回路控制的热阴极传感器相比更为可靠
应用
- 测量高真空室压力
- 控制系统压力使用模拟输出作为自动压力控制器的输入
- 测量回充气体的压力
- 对真空系统进行泄漏测试
订货号
外形尺寸图
|
参数 |
规格 |
|
测量范围：N2或空气（1） 请勿在易燃易爆气体环境下使用本产品。 |
3.9×10-8 Pa~ 6.5 x 10-1Pa |
|
3.0×10-10Torr ~ 5.0×10-3Torr |
|
|
控制设定范围
|
1.3×10-7 Pa~ 1.3 ×10-1Pa |
|
1.0×10-9 Torr ~1.0×10-3 Torr |
|
|
可重复性 |
±5% |
|
真空状态滞回（2） |
150 mV |
|
校准气体 |
氮气 |
|
输入电源 |
14 至 30 VDC, 最大150 mA |
|
内部工作电压 |
高压最大 3KV，短路电流限制在 100μA |
|
输出电压 |
0.5～7.7VDC(AP版)，1.5～8.7（Standard） 对数线性输出，30Ω最大输出阻抗 |
|
输出负载 |
标称 100KΩ，最小 10KΩ |
|
显示 |
真空(红色)、高压(黄色)、电源(绿色)LED 指示灯 |
|
真空连接 |
KF25、KF 40、CF35(活套法兰) |
|
电气连接 |
9 针“D”型端子 |
|
外壳材料 |
铝合金 |
|
暴露在真空中的材料 |
SS304、玻璃、Inconel®X-750、氧化铝陶瓷 |
|
重量(带 CF 法兰) |
1.2 Kg |
|
外形尺寸 |
123mm*76.5mm*108.5mm |
|
内部体积 |
最大0.9 立方英寸(15.0 cm3) |
|
安装方向 |
任何方向。但是，要避免将传感器直接安装在腔室下方，以防止溅射材料或其他碎片落入传感器中。 |
|
工作温度 |
0℃~ 50℃(32°to 122°F)环境，室内使用，普通防潮 |
|
相对湿度 |
0 到 90% |
|
海拔 |
最大 2000 米(6561 英尺) |
|
烘烤的温度 |
CF法兰单元最大 400°C(752°F);移除电子设备、电缆和磁铁 |
