RBF-910复合变送器
RBF-910 复合真空传感器提供了从1.33×10-3Pa到1.33×105Pa，基于热导率和硅膜机械形变测量真空度。RBF-910传感器具有RS232或RS485数字通信接口，用于设置传感器参数，并提供实时的压力测量。RBF-910有多达三个机械继电器，可用于过程控制，如联锁阀或泵。模拟电压输出可以与外部模拟设备接口，以进行压力读出或控制。
优点
- 负荷锁压力控制
- 一般真空压力测量
- 孔线和粗糙压力测量
- 气体回填的测控
- 质谱仪控制
- UHV仪表的激活
- 系统过程控制
- 使用设定值继电器检测异常压力，并采取适当的安全措施
- 控制系统压力
应用
- RBF-910可用于半导体、分析和涂层行业的许多不同的真空应用环境。
订货号
技术参数
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关键规格 |
技术参数 |
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测量范围（氮气和空气） |
1.33×10-3Pa~2×105 Pa |
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1×10-5 Torr~ 1500 Torr |
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精度 |
6.67×10-2Pa~1.33×10-1 Pa ±10% 1.33×10-1 Pa~1.33×103 Pa ±5% 1.33×103 Pa~1.33×105 Pa ±0.75% |
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5×10-4 Torr~1×10-3 Torr: ±10% 1×10-3 Torr~ 10 Torr: ±5% 10Torr~ 1000Torr: ±0.75% |
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重复性 |
1.33×10-1Pa ~ 1.33×103Pa： ±2% 1.33×103Pa ~ 1.07×105Pa: ±0.2% |
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1×10-3 Torr~ 10 Torr： ±2% 10Torr ~ 800Torr: ±0.2% |
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输入电压 |
9-30VDC |
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功率 |
<1.2Watt |
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模拟输出 |
1-9VDC |
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模拟输出1分辨率 |
16bit |
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模拟输出2分辨率 |
16bit |
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模拟输出阻抗 |
100Ω |
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模拟输出更新速率 |
16Hz |
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设定继电器范围 |
1.33×10-2Pa ~ 1.33×105 Pa |
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1×10-4 Torr~ 1000Torr |
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继电器触点额定值 |
1A/30VDC/VAC |
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继电器触点电阻 |
100mΩ（max） |
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继电器触点耐久性（30VDC/1A负载） |
100000（min） |
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继电器触点耐久性（30VDC/0.2A负载） |
2000000（min） |
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继电器响应时间 |
<100 ms |
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暴漏在真空中的材料 |
304不锈钢，硅，二氧化硅，氮化硅，金，氟橡胶。 |
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整体结构与法兰材料 |
304不锈钢 |
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工作温度 |
0 to 40℃ （32 to 104 ℉） |
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烘烤温度（电源关闭） |
85℃（185℉） |
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湿度 |
0-95% 不凝结 |
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入口保护等级 |
IP40 |
