RBY-902压阻变送器
RBY-902压阻变送器提供了从 13.33 Pa到 1.33×10⁵Pa的真空测量范围，基于热导率和硅膜机械形变测量真空度。RBY-902压阻变送器具有 RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数，并提供实时的压力测量。RBY-902压阻变送器有多达三个可用于过程控制（比如连锁阀和泵）的机械继电器，模拟电压输出可以与外部模拟设备相连，可进行压力读出或控制。
RBY-902压阻变送器包含一个传感器元件。压力传感器相对集成测量真空来说是基于测量316不锈钢膜的机械挠度。压力传感器测量绝对压力不依赖于气体组成和浓度。
优点
- 低成本传感器，测量范围为 13.33 Pa 到 1.33×105 Pa
- 固态压阻传感器，可抵抗空气涌入和振动造成的损坏
- 坚固的设计和不锈钢结构，适用于苛刻的工艺
- 独立于气体的压力测量，用于精确的压力测量
- 可安装在任何方向，便于安装
应用
- 可用于半导体、分析和涂覆行业等许多不同的真空应用。
订货号
技术参数
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关键规格 |
技术参数 |
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测量范围（氮气和空气） |
13.33Pa~ 1.33×105 Pa（绝压） |
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0.1~1000 Torr（绝压） |
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精度（绝压压阻） |
1.33×104Pa~1.33×105Pa ±1%读值 1.33×10³Pa~1.33×104 Pa ±5% 读值 |
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100Torr ~1000 Torr ±1% 读值 10Torr ~100 Torr ±5% 读值 |
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重复性 |
1.33×104 Pa~1.33×105Pa ±0.3% 读值 1.33×10³ Pa~1.33×104 Pa ±1% 读值 |
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100Torr~1000 Torr ±0.3% 读值 |
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超压极限 |
2.00×105 Pa |
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供电电压 |
9~30VDC |
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消耗功率 |
<1.2Watt |
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模拟输出 |
0 ~ 10VDC |
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保险丝（熔断恢复） |
200 mA |
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模拟输出1分辨率 |
16bit |
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模拟输出2分辨率 |
16bit |
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模拟输出阻抗 |
100Ω |
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模拟输出更新速率 |
16Hz |
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设定继电器范围 |
133.32Pa ~ 1.33×105 Pa |
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1Torr~1000 Torr |
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继电器触点额定值 |
1A@30VDC/VAC |
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继电器触点电阻 |
100mΩ（max） |
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继电器触点耐久性（30VDC/1A负载） |
100000（min） |
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继电器触点耐久性（30VDC/0.2A负载） |
2000000（min） |
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继电器响应时间 |
<100 ms |
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暴漏在真空中的材料 |
316不锈钢 |
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整体结构与法兰材料 |
304不锈钢、316不锈钢 |
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工作温度 |
0 ~ 40℃ （32 ~ 104 ℉） |
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烘烤温度（电源关闭） |
100℃（212℉） |
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湿度 |
0 ~ 95% 不凝结 |
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入口保护等级 |
IP40 |
