RBF-530 复合变送器
简介
该系列产品将皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中，测量范围为 5.0 x 10-5～1500mbar。在 30mbar至1500mbar的测量范围内，电容膜片技术不受气体类型限制，能够提供高精度可靠压力测量值。
The Reborn Pirani Capacitance Diaphragm Gauge (RBF-530) combines the Pirani technology with the advantages of a ceramic capacitance diaphragm sensor in a single product. In the measurement range between 5.0 x 10-5 mbar and 1500mbar the capacitance diaphragm technology provides gas-type independent, highly accurate values for reliable pressure measurement.
优点
- 在 30mbar至大气压力下不受气体类型限制，具有较高测量精度
Gas-type independent above 30 mbar with high measurement accuracy
- 快速的大气检测，消除了等待时间并缩短了工艺周期
Fast atmospheric detection – eliminates waiting time and shortens process cycle
- 提供钨丝或全陶瓷涂层传感器单元，适合高腐蚀性应用
Available with tungsten or with a fully ceramic coated sensor unit for highly corrosive applications
- 可选的输出信号，易于集成
Selectable output signal for easy integration
- 可选大气开关、显示屏和数字接口等
Optional atmospheric switch, display and digital interfaces
- 测量性能不受安装方向的影响，实现工具设计的最大工程自由度
Measurement performance is independent of mounting orientation for maximum engineering freedom in tool design
应用范围：
- 预抽真空室控制
Load lock control
- 真空压力测量
For vacuum pressure measurement
- 真空系统中的安全电路
Safety circuits in vacuum systems
- 中低真空范围内的一般真空测量与控制等
General vacuum measurement and control in the medium and rough vacuum range
订货信息
技术参数
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测量范围（空气, 氮气） |
5×10-5... 1500mbar |
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精度（氮气） |
5×10-4 ... 1×10-3mbar ±50% 1×10-3 ... 100mbar ±15% 100 ... 950mbar ±5% 950 ... 1050mbar ±2.5% |
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重复性（氮气） |
1×10-3 ... 1100mbar ±2% |
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输出阻抗 |
2×4.7Ω，短路保护（两条差分线路输出） |
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负载 |
＞10kΩ |
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响应时间 |
＜30ms |
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电压范围 |
（1）0 ... +10.23V （2）0 ... +8.68V （3）0 ... +5.659V （4）0 ... +9.05V（对应4种输出公式） |
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功耗 |
无现场总线≤2.5W |
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固态继电器额定触点值 |
<30V（ac）/（dc），≤0.3A |
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机械继电器额定触点值 |
<30V（ac）/（dc），≤1A |
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允许压力（绝压） |
≤5bar |
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破裂压力（绝压） |
10bar |
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灯丝允许温度 |
≤160℃ |
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相对湿度 |
年平均≤65% 不凝结，60天内≤85%不凝结 |
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安装方向 |
任意 |
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入口保护等级 |
IP40 |
