RBF-570复合变送器

RBF-570变送器由两个独立的测量系统组成:皮拉尼和冷阴极系统(基于反向磁控管原理)。在整个测量范围内,测量信号作为压力的对数输出,用于1×10-7 Pa到1×105 Pa压力范围内气体的真空测量。

优点

  • 在恶劣环境下,使用寿命长
  • 低杂散磁场
  • 外观紧凑,占用空间小
  • 传感器可更换点火片,易于维护。

应用

  • 在蒸发和溅射涂层应用中从大气到高真空基本压力监测和控制。
  • 一般真空测量-工业炉、建筑玻璃、半导体。
  • 前级真空压力测量。
  • 分析和研发应用。

订货信息

技术参数

测量范围(氮气或空气)

1×10-7 Pa~1×105 Pa

1×10-9 mbar~1000 mbar

模拟输出范围

0 V~+10.5 V

模拟输出测量范围

+1.398 V~+8.6 V

精度(氮气)

1×104 Pa~1×105 Pa  ±50%

1×10-6 Pa~1×104 Pa  ±30%

重复性

1×10-6 Pa~1×104 Pa  ±5%

响应时间

>1×10-4 Pa  <100ms

1×10-4 Pa~1×10-6 Pa  ≈1 s

允许压力

10bar,仅限于惰性气体<55℃

电源电压

14.5 V~30 V (直流)

功耗

≤2 W

电气连接

RJ45