RBF-570复合变送器
简介
RBF-570设计用于1×10-9 mbar…1000 mbar压力范围内气体的真空测量,该量规由两个独立的测量系统组成（Pirani和冷阴极系统（基于反向磁控管原理））。冷阴极测量电路由Pirani电路控制，在压力P<1×10-3mbar时激活。若冷阴极测量电路未被点燃，则输出皮拉尼的测量值作为测量信号。在整个测量范围内，测量信号作为压力的对数输出。
The RBF-570 is designed for vacuum measurement of gases in the pressure range 1 x 10-9 mbar...1000 mbar and consists of two independent measuring systems (Pirani and cold cathode system (based on the reverse magnetron principle)).The cold cathode measurement circuit is controlled by the Pirani circuit and is activated at pressures P < 1 x 10-3 mbar. If the cold cathode measurement circuit is not fired, the measured value of the Pirani is output as a measurement signal. The measurement signal is output as the logarithm of the pressure over the entire measurement range.
优点
- 双独立测量系统，组成最佳测量配置
Dual independent measuring systems for optimal measurement configurations
- 从 0x 10-9mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
Extremely wide measuring range from 1.0x 10-9 mbar to atmospheric pressure (3.8 x 10-10 Torr to atmospheric pressure)
- 在1E-8 … 1E2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
Excellent repeatability in the process pressure range of 1 E-8 ... 1E2 mbar 5%.
- 测量性能不受安装方向的影响，实现工具设计的最大工程自由度
Measurement performance is independent of mounting orientation for maximum engineering freedom in tool design
订货信息
技术参数
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测量范围 |
1×10-9～1000 mbar（空气, 氮气） |
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精确度 |
100～1000 mbar ±50%读值 1×10-8～100 mbar ±30%读值 |
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重复性 |
1×10-8～100 mbar ±5%读值 |
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分辨率 |
1%读值 |
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电压范围（模拟输出） |
0…+10.5 V |
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电压测量范围 |
+1.398...+8.6 V (dc) |
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输出阻抗 |
2×4.7 Ω，防短路输出 |
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负载阻抗 |
≥10kΩ，防短路输出 |
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响应时间 |
>1×10-6 mbar <100 ms 1×10-6… 1×10-8 mbar ≈ 1 s |
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工作温度 |
+5℃ … +55℃ |
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工作湿度 |
1×10-8… 1×10-2mbar ≤70%（非冷凝） 1×10-7… 1×10-2mbar ≤95%（非冷凝） |
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功耗 |
≤2 W |
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安装方向 |
仅在室内，海拔高达6000米 |
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允许压力 |
10bar,仅限于惰性气体<5℃ |
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燃烧压力 |
>13bar |
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暴露在真空中的材料 |
不锈钢、玻璃、陶瓷，钼镍合金 |
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保护程度 |
IP40 |
