优点
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 无需零点校准，零点校准在仪表运行过程中自动进行，不需要手动校准
- 传感器配备了两个相同的热阴极灯丝，如果灯丝断裂，仪表将立即反应并切换到第二根(未损坏)灯丝。
- 有三个单极单掷（常开）继电器，可以配置为任何一个电压输出或配置为接地连接，具体取决于系统控制器的需要。
- 测量性能不受安装方向的影响，实现工具设计的最大工程自由度。
应用
- 用于 5×10 -10mbar…1000 mbar 的压力范围内气体的真空测量
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
订货信息
技术参数
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测量参数 |
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测量范围(空气、O2、CO、N2) |
5×10-8 Pa~1×105 Pa,连续的 |
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3.75×10-10 Torr～750 Torr，连续的 |
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精确度 (10 min 后稳定)
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1×10-6 Pa~1Pa ±15%读值 |
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7.5×10-9 Torr～7.5×10-3 Torr ±15%读值 |
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重复性 (10 min 后稳定)
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1×10-6 Pa～1Pa ±5%读值 |
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7.5×10-9 Torr～7.5×10-3 Torr ±5%读值 |
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发射参数 |
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打开阈值 |
2.4Pa |
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关闭阈值 |
3.2Pa |
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发射电流 p ≤7.2×10-4 Pa 7.2×10-4 Pa<p < 3.2 Pa |
5 mA 25 µA |
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发射电流切换 25 µA切换至5 mA 5 mA切换至25 µA |
7.2×10-4 Pa 3.0×10-3 Pa |
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热阴极灯丝 数量 选择方式 灯丝变化后测量信号的稳定时间 灯丝状态 |
2 由仪表(默认)或通过接口控制 < 4 s LED显示 |
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发射控制方式 自动 手动 |
自动打开/关闭发射 由用户通过界面进行开关发射 |
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除气参数 |
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电流(p <7.2×10-4 Pa) |
≈20 mA |
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控制输入信号 |
0V/+24V(dc)，高使能 也可通过RS232C进行操作 |
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持续时间 |
< 3分钟，然后自动停止 |
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输出信号 |
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输出信号(测量信号) |
0~+10V(dc) |
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测量范围 |
+0.774~+10V (5×10-8 Pa~1×105 Pa) |
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电压-压力关系 |
对数，0.75 V/decade |
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错误信号 EEPROM错误 热阴极错误 Pirani错误 |
≈+0.1 V(dc) ≈+0.3 V(dc) ≈+0.5 V(dc) |
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最小负载阻抗 |
10 kΩ |
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仪表标识 |
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RBF-580 |
Pin 10和Pin 15之间的42 kΩ电阻器 (传感器电缆) |
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开关功能 |
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RBF-580 |
2 ("设定值 A, B") |
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设定范围 |
1×10-7 Pa~1×104 Pa 设定值可通过电位器调节，每个设定点有一个浮动的、常开的继电器触点 |
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RS232C接口 |
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数据速率 |
9600 Baud |
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数据格式 |
二进制 8个数据位 1个停止位 无奇偶校验位 无握手协议 |
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连接器(传感器电缆连接器) TxD(传输数据) RxD(接收数据) GND |
Pin 13 Pin 14 Pin 5 |
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DeviceNet接口 |
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现场总线名称 |
DeviceNet |
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标准应用 |
欧洲设备网标准EN 50325 |
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通信协议、数据格式 |
DeviceNet™ RBF-580 DeviceNet™ Specifications |
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物理接口 |
CAN bus |
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数据率 (可通过“RATE”开关调节) |
125 kBaud 250 kBaud 500 kBaud(默认) “P”(125kBaud，250kBaud，500kBaud，可通过DeviceNet修改) |
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节点地址(MAC ID) (可通过“ADDRESS”,“MSD”, “LSD”开关进行调节) |
0 ~ 63dec (默认 = 63dec) “P”(0~63可通过DeviceNet修改) |
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DeviceNet 连接器 电缆 电缆长度，系统接线 |
Micro-Style, 5-pin, male 屏蔽专用DeviceNet电缆，5线 根据DeviceNet的规范 |
