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优点
- 全金属膜片薄膜规。
- 暴露大气压后的快速恢复性。
- 卓越的长期讯号稳定性。
- 温度补偿。
- 保护传感器防止污染。
- 一键调零功能。
应用
- 用于蚀刻、CVD、PVD和ALD的半导体制造设备。
- 工业真空设备。
- 高度精确的压力测量。
- 科研院所。
订货号
技术参数
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测量范围 |
1.33×101 Pa～1.33×105 Pa |
1.33×100 Pa～1.33×104 Pa |
1.33×10-1 Pa～1.33×103 Pa |
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1×10-1 Torr～1×103 Torr |
1×10-2 Torr～1×102 Torr |
1×10-3 Torr～1×101 Torr |
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订货号 |
13 |
12 |
11 |
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测量精度 |
±0.5% Rd |
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零点温度效应 |
±0.02% F.S. /°C |
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满量程温度效应 |
±0.04% F.S. /°C |
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分辨率 |
0.01% |
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与气体类型的关系 |
无关 |
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电压范围 |
-0.5 V～+10.24 V |
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压强输出范围 |
0 V～+10 V |
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电压与压强的关系 |
线性 |
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输出阻抗 |
0 W (短路保护) |
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负载阻抗 |
>10 kW |
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响应时间 |
≥0.25 乇/毫巴 (全量程) <30 毫秒 0.1 乇/毫巴 (全量程) <130 毫秒 |
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真空变送器标识 |
电阻13.2 kW 参考至电源公共端(脚10的电压£5 V) |
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开关功能 |
SP1,SP2 |
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电源电压 |
+14 V～+30 V (直流) |
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运行温度 |
贮存 –40°C…+65°C |
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