RBM-510J 薄膜变送器（加热式）
RBM-510J变送器拥有一种可变电容传感器，由一个压力入口管（端口）和传感器体内的一个小腔室相连，腔体的一侧是弹性金属膜片。膜片的正面暴露在需要压力测量的气体中，膜片的背面或参考面朝向一个刚性安装的陶瓷圆盘，圆盘上有两个电极。参考面永久抽空（1.33×10-9 Pa），其真空度通过化学吸气剂来维持。
膜片随着绝对压力（单位面积力）的变化而产生形变，这与被测气体的类型或成分无关。这种形变会导致每个电极到膜片的距离不同，从而使传感器电极的电容失衡，电容的失衡在电桥中转换为直流电压，经过精密恒频振荡器产生的信号调节，再经过线性化、归零和信号调节器等电子元件放大后，产生与传感器量程一致的0至10 V直流精确信号。
由于传感器和电桥电子元件受温度控制，因此加热式RBM-510J变送器的零点和跨度稳定性进一步提高。这种隔热腔减小了工艺线环境中常见的环境温度变化的影响，减少或消除了传感器表面的冷凝和工艺副产品沉积。
优点
- 100℃恒温，测量精度可达读数的 0.25%。
- 0~10V直流（VDC）模拟输出，与绝对压力成比例
- RBM510传感器的独特功能包括污染物排除系统和沉积物挡板，可迫使沉积物在到达传感器之前沉积，减少或消除了传感器表面的冷凝和工艺副产品沉积。
- 适用于精准的低压力测量，能够提供更为精准的输出信号。
- 传感器所有与介质接触的表面均采用Inconel合金制成，具备耐腐蚀特性。
- 一键调零功能。
应用
- 蚀刻、CVD、PVD及其他半导体生产过程。
- 高精度的压力测量
- 科研院所
订货号
技术参数
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电气规格 |
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符合 CE 标准 电磁兼容性2 产品安全要求 |
电磁兼容性指令2004/108/EC产品安全指令92/59/EC |
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符合 RoHS（有害物质限制）标准 |
完全符合第2002/95/EC号指令的要求 |
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输入功率要求 电压电流 |
±15 VDC ±5% ≤600 mA |
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信号输出 |
0至+10 VDC，110%超量程，主动归零。 |
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环境规格 |
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环境工作温度范围 |
摄氏15度至50度（华氏59度至122度） |
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最高外部外壳温度 |
摄氏65度（华氏149度） |
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储存湿度范围 |
≤95%相对湿度，无冷凝 |
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存储温度范围 |
摄氏-20度至80度（华氏-4度至176度） |
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精度（非线性、滞后和非重复性） ≥133.32Pa <133.32Pa |
读数±0.25% 读数±0.5% |
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破坏压力 |
5倍满刻度或90psia，以较大者为准 |
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内部容量 |
6.3cc |
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泄露完整性 |
内部到外部 <10-9scc/sec He |
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无损坏的超压极限 |
45 psia (310 kPa) |
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13.33, 133.32, 1333.22 |
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分辨率 |
0.002% (1×10-5) of FS |
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温度系数 零 ≥133.32Pa 33.33Pa和13.33Pa 6.67Pa（所有量程） |
0.002%FS/°C 0.010%FS/°C 0.020%FS/°C 0.02%读数/°C |
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响应时间 |
<20毫秒（≤133.32Pa<40毫秒） |
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预热时间（23°C环境温度条件下） ≥133.32Pa <133.32Pa |
2小时 4小时 |
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物理规格 |
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配件 |
NW16-KF |
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接口连接器 |
15针公"D"型 |
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重量 |
2.5 磅（1.13千克） |
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润湿材料 |
铬镍铁合金。某些可选配件可能由 300 系列不锈钢制成。 |
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固态继电器规格 |
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负载能力 |
10 mA |
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饱和电压 |
0~40V最大值 |
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开路电压 |
25V最大值 |
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齐纳保护 |
25V标称电压 |
