ZDF-5210/5210BY系列复合真空计
该系列复合真空计是由一路或者二路皮拉尼电阻真空计（ZJ-52T）和一路热阴极电离真空计(ZJ-10)组合而成。该系列复合真空计包含ZDF-5210、ZDF-5210BY；
ZDF-5210 由一路电阻（ZJ-52T）和一路电离(ZJ-10)组成。
ZDF-5210BY 由两路电阻（ZJ-52T）和一路电离(ZJ-10)组成；电阻 1 单独测量，电阻 2 和电离复合测量。
其中 52 代表低真空测量为 ZJ-52T 电阻规管测量，10 代表高真空测量为 ZJ-10热阴极电离规管测量。
该系列复合真空计采用了单片机系统来对测量数据进行非线性处理及误差修正,因此具有更高的精确度和重复性，响应快,测量稳定可靠,抗干扰能力强等优点,是宽量程真空测量较理想的仪器之一。
优点
- 豪华喷塑机箱,欧姆龙轻触开关,绿色或红色高亮 LED 显示,机箱结构合理,抗振能力强, 外型美观大方。
- 采用数字滤波和光电隔离技术,具有较高的测量精度和抗干扰能力。
- 四组或者六组控制信号输出,并有指示灯指示。
- 一个独立的控制系统,可以同时测量、控制和显示多路测量信号。
- 采用单片机系统进行非线性补偿和误差修正,并对被测压强进行全程数字显示, 自动换挡, 具有多种控制功能输出。
- 前面板电阻测量部分设有“零点”和“满度”电位器校准，能保证仪器在低真空段测量的准确度和调节方便。
应用
- 光伏、半导体集成电路领域、镀膜、研究与学术、太阳能、医学领域
订货号
技术参数
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产品型号 |
ZDF-5210 |
ZDF-5210BY |
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测量范围 |
1.0×10⁵~1.0×10-4(Pa) |
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有效范围 |
3.0×10³~1.0×10-4(Pa) |
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参考范围 |
1.0×10⁵~3.0×10³(Pa) |
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配接规管 |
ZJ-52T一只，ZJ-10一只 |
ZJ-52T两只，ZJ-10一只 |
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测量路数 |
2路(电阻和电离规应接在同一测量点复合测量) |
3路(电阻规1单独测量，电阻规2和电离规应接在同一测量点复合测量) |
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显示路数 |
2路 |
3路 |
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显示方式 |
五位LED数字显示，采用科学计数法，例1.2E-1,表示为1.2×10¹Pa |
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零点满度校准方式 |
电位器调节 |
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控制路数 |
4路 |
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控制范围 |
1.0×10⁵~1.0×10⁻4 (Pa)/建议在有效范围内设置 |
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控制方式 |
点控或区域控制/带掉电记忆 |
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控制点负载 |
AC220V/3A;DC28V/10A |
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电离外控 |
无源开关(电离外控指通过PLC开关电离规，使电离规不受大气冲击，达到寿命最长) |
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工作电源 |
AC/220±10%/50Hz/45W |
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重量 |
约4KG |
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机箱尺寸 |
480×88×280(长×宽×深)(mm) |
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安装开孔尺寸 |
440×80(长×宽)(mm) |
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模拟输出 |
0~5V/4~20mA |
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通讯接口 |
RS-232/RS-485(通讯协议有睿宝自定义协议和modbus-rtu可以选择) |
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控制点 |
可拓展到6路 |
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