ZDF-5214V01/ZDF-5214AXV01/ZDF-5214BYV01系列复合真空计
该系列复合真空计是由一路或者二路皮拉尼电阻真空计（ZJ-52T）和一路冷阴极电离 (ZJ-14 冷规)真空计组合而成。
该系列复合真空计包含ZDF-5214V01、ZDF-5214AXV01、ZDF-5214BYV01；ZDF-5214v01 、ZDF-5214AXV01 由一路电阻（ZJ-52T）和一路电离(ZJ-14 冷规)组成。ZDF-5214BY v01 由两路电阻（ZJ-52T）和一路电离(ZJ-14冷规)组成；电阻 1 单独测量，电阻 2 和电离复合测量。其中 52 代表低真空测量为 ZJ-52T 电阻规管测量，14 代表高真空测量为 ZJ-14（高压驱动为 3500V,极限真空测量到 1.0E-7 Pa）冷阴极电离规管测量。
该系列复合真空计采用了 ARM 系统来对测量数据进行非线性处理及误差修正，因此具有 更高的精确度和重复性，响应快，测量稳定可靠，抗干扰能力强等优点，是宽量程真空测量 较理想的仪器之一。
优点
- 豪华喷塑机箱,欧姆龙轻触开关,绿色或红色高亮 LED 显示,机箱结构合理,抗振能力强, 外型美观大方。
- 采用数字滤波和光电隔离技术,具有较高的测量精度和抗干扰能力。
- 四组或者六组控制信号输出,并有指示灯指示。
- 一个独立的控制系统,可以同时测量、控制和显示多路测量信号。
- 采用 ARM 系统进行非线性补偿和误差修正,并对被测压强进行全程数字显示, 自动换挡, 具有多种控制功能输出。
- 前面板电阻测量部分设有“零点+ ”、“零点- ”和“满度”按键式校准，能保证仪器在低真空段测量的准确度和调节方便。
应用
- 光伏、半导体集成电路领域、镀膜、研究与学术、太阳能、医学领域
订货号
技术参数
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产品型号 |
ZDF-5214V01 |
ZDF-5214AXV01 |
ZDF-5214BYV01 |
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测量范围 |
1.0×10⁵~1.0×10-7(Pa) |
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有效范围 |
3.0×10³~5.0×10-6(Pa) |
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参考范围 |
1.0×10⁵~3 .0×10³(Pa)及5.0×10-6~1 .0×10-7(Pa) |
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配接规管 |
ZJ-52T一只，ZJ-14一只 |
ZJ-52T两只，ZJ-14一只 |
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测量路数 |
2路(电阻和电离规应接在同一测量点复合测量) |
3路(电阻1单独测量，电阻2和电离 规应接在同一测量点复合测量) |
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显示路数 |
2路 |
3路 |
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显示方式 |
五位LED数字显示，采用科学计数法，例1.2E-1,表示为1.2×10¹Pa |
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零点满度校准方式 |
按键调节 |
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控制路数 |
4路(全量程内自由设定) |
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控制范围 |
1.0×10⁵~1.0×10⁻⁷ (Pa)/建议在有效范围内设置 |
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控制方式 |
点控或区域控制/带掉电记忆 |
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控制点负载 |
AC220V/3A;DC28V/10A |
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电离外控 |
无源开关(电离外控指通过PLC开关电离规，使电离规不受大气冲击，达到寿命最长) |
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工作电源 |
AC/220±10%/50Hz/45W |
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重量 |
约4KG |
约3KG |
约4KG |
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机箱尺寸 |
480×88×280(长×宽×深)(mm) |
240×88×330(长×宽×深)(mm) |
480×88×280(长×宽×深)(mm) |
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安装开孔尺寸 |
440×80(长×宽)(mm) |
200×80(长×宽)(mm) |
440×80(长×宽)(mm) |
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模拟输出 |
0~5V/4~20mA |
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通讯接口 |
RS-232/RS-485(通讯协议有睿宝自定义协议和modbus-rtu可以选择) |
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控制点 |
可拓展到6路 |
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