RBM-510J变送器拥有一种可变电容传感器，由一个压力入口管（端口）和传感器体内的一个小腔室相连，腔体的一侧是弹性金属膜片。膜片的正面暴露在需要压力测量的气体中，膜片的背面或参考面朝向一个刚性安装的陶瓷圆盘，圆盘上有两个电极。参考面永久抽空（1.33×10^-9 Pa），其真空度通过化学吸气剂来维持。

        膜片随着绝对压力（单位面积力）的变化而产生形变，这与被测气体的类型或成分无关。这种形变会导致每个电极到膜片的距离不同，从而使传感器电极的电容失衡，电容的失衡在电桥中转换为直流电压，经过精密恒频振荡器产生的信号调节，再经过线性化、归零和信号调节器等电子元件放大后，产生与传感器量程一致的0至10 V直流精确信号。

        由于传感器和电桥电子元件受温度控制，因此加热式RBM-510J变送器的零点和跨度稳定性进一步提高。这种隔热腔减小了工艺线环境中常见的环境温度变化的影响，减少或消除了传感器表面的冷凝和工艺副产品沉积。

RBM-500J系列薄膜变送器是采用Inconel 600金属结构件和金属薄膜传感器，通过电子元件将电容信号转换为线性直流电压输出。该系列提供多量程选择，可兼容睿宝RBM-350系列及其他控制器，适用于各类真空环境下的压强监测。

该复合变送器是压阻采用的是绝对压力，在同一管体中集成安装了压阻规和电阻规两种压力检测传感器，可对同一检测腔体进行检测。

通过自动切换，充分发挥各自优点，实现0.5Pa~1.0×10⁵Pa整个范围的准确测量，且1.0×10³Pa~1.0×10⁵Pa之间的测量与气体成分无关，不仅拓展了测量范围，也足以保证测量值的准确、稳定。

该变送器封装再坚固耐用的小型管壳内。坚固耐用的传感单元更适用于半导体系统，以及常规用途如前级真空管道中。该变送器中单独传感器部件可以更换。

RBR-355热阴极变送器拥有两条灯丝，可以通过短按设备面板上的按键开关来实现灯丝切换。测量范围为1.33×10^-7 Pa到6 Pa，量程涵盖了中真空、高真空和极高真空，跨越7.5个量级。

RBP-201皮拉尼真空规的测量范围为5.0x10^-2~1x10⁵Pa,其依靠热传导原理,即加热灯丝的热损失率取决于灯丝周围气体的压力。真空规测量值通过RJ45接口输出对应模拟信号量。